環境マネジメントシステム

平成23年度には省エネ大賞を受賞しました。

省エネルギー活動の特長

1.先進性・独創性

  • マトリックスフレームに対応する製造設備の開発……従来フレーム上に2列に並んでいたICを 4列並べて同時に16個のICを搬送,検査できる省エネ型製造装置を開発。(特許申請)
  • 露点制御型高圧エアードライヤの開発……従来常時強制的にパージを行っていたものを高圧エアーの露点温度に応じて必要最小限のパージを行うように改造する事により42.9%の省エネを達成。

2.省エネルギー性

  • 日出工場の高圧エアー省エネ対策により電力量を従来機器比21.6%削減。(従来設備比較)
  • 三重工場の空調機をインバータ型へ変更することにより三重工場空調全体の電力量を約40%削減

3.汎用性・波及性

  • 製造装置上のIC搬送をエアー搬送からロボット搬送に改造することによる省エネ化。
  • 屋根の二重化と屋根上スプリンクラーの設置による省エネ化。

省エネ効果を実現するために、省エネ施策を以下の観点から取り組んできました。

省エネ改善の持続性

■例 インフラモニターシステムによるエネルギー消費の見える化

監視モニターで見える化を行い、継続的な省エネ活動

インフラモニターシステム画面1

インフラモニターシステム画面2
最大使用量電力量の予測及び警告

■例 高圧エアー用ヒートレスドライヤの“Autoパージレス化”

高圧エアーの露点温度を監視してPLC(シーケンサー)で 露点温度に応じて必要最小限にする仕組みを自社で開発。

パージ回数が減少したことにより消費電力量が42.9%の削減効果!!

■例 屋根の二重化と屋根裏排気ファンの設置