環境マネジメントシステム
平成23年度には省エネ大賞を受賞しました。
省エネルギー活動の特長
1.先進性・独創性
- マトリックスフレームに対応する製造設備の開発……従来フレーム上に２列に並んでいたＩＣを ４列並べて同時に16個のＩＣを搬送,検査できる省エネ型製造装置を開発。（特許申請）
- 露点制御型高圧エアードライヤの開発……従来常時強制的にパージを行っていたものを高圧エアーの露点温度に応じて必要最小限のパージを行うように改造する事により42.9％の省エネを達成。
2.省エネルギー性
- 日出工場の高圧エアー省エネ対策により電力量を従来機器比21.6%削減。（従来設備比較）
- 三重工場の空調機をインバータ型へ変更することにより三重工場空調全体の電力量を約40％削減
3.汎用性・波及性
- 製造装置上のＩＣ搬送をエアー搬送からロボット搬送に改造することによる省エネ化。
- 屋根の二重化と屋根上スプリンクラーの設置による省エネ化。
省エネ効果を実現するために、省エネ施策を以下の観点から取り組んできました。
省エネ改善の持続性
■例 インフラモニターシステムによるエネルギー消費の見える化
監視モニターで見える化を行い、継続的な省エネ活動
インフラモニターシステム画面１
インフラモニターシステム画面２
最大使用量電力量の予測及び警告
■例 高圧エアー用ヒートレスドライヤの“Autoパージレス化”
高圧エアーの露点温度を監視してPLC(シーケンサー)で 露点温度に応じて必要最小限にする仕組みを自社で開発。
パージ回数が減少したことにより消費電力量が42.9％の削減効果！！
■例 屋根の二重化と屋根裏排気ファンの設置
